等离子清洗是使用等离子来做到传统清理方式 不能做到的实际效果。等离子是成分的一种情况，也称为物质的第四态，并不属于普遍的固液气三态。对汽体增加一定的动能使之离化便变成低温等离子情况。等离子的“活力”成分包含：正离子、电子器件、分子、活力官能团、高自旋的核素（亚稳态）、光量子等。等离子清洗便是根据运用这种活力成分的类型来解决试品表层，进而完成清理、涂敷等目地。根据化工或物理学功效对产品工件表层做好解决，完成分子结构能力的污染物质除去，进而提升产品工件表层活性。被清理的污染物质很有可能有有机化合物、环氧树脂胶、光刻技术、金属氧化物、微颗粒物污染物质等，因此等离子清洗是一种精密加工清理。相匹配不一样的污染物质，应选用不一样的清理加工工艺。一般来说，依据挑选的加工工艺汽体不一样，等离子清洗分成化学水处理、物理学清理及物理学清理。
应式及图 1、图 2 及图 3 对清洁方法做详细描述：
表面反应以化学变化为主导的等离子清理，又被称为 PE。
例 1：O2＋e－→ 2O※ e－O※＋有机化合物→CO2 H2O
从反应方程由此可见，氧等离子根据化学变化可让非污染物变为容易挥发的 H2O 和 CO2。
例 2：H2 e-→2H※ e-H※ 非挥发物氢氧化物→金属材料＋H2O
从反应方程由此可见，氢等离子根据化学变化可以清除金属件空气氧化层，清理金属表层。
表面反应以物理反应为主导的等离子清理，也叫磁控溅射浸蚀（SPE）。
例：Ar＋e-→Ar 2e-Ar 脏污→挥发物脏污
Ar 在自偏压或另加偏压功效下被加快造成机械能，随后负电子在放到负电极上的被清理部件表层，一般采用除去金属氧化物、与此同时开展表面活性。表面反应中物理反应与化学变化均起主要功效。
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