技术剖析：等离子清洗机工作原理

等离子清洗机原理剖析：

电浆与原材料外型可造成的反映关键有二种，一种是靠氧自由基来做化学变化，另一种则是靠低温等离子作物理反应，下列将作更详尽的表明。

  （1）化学变化（Chemical reaction）

在化学变化里常见的空气有氡气（H2）、o2（O2）、甲烷气体（CF4）等，这种空气在电浆内反映成基酶的氧自由基，其表达式为：

这种氧自由基会进一步与原材料外型作反映。

其反映原理关键是行驶等离子里的氧自由基来与原材料外型做化学变化，在工作压力较高时，对氧自由基的造成较有益，因此若想以化学变化为主导时，就务必操纵较高的工作压力来近开展反映。

  （2）物理反应（Physical reaction）

关键是行驶等离子里的正离子作纯物理学的碰撞，把原材料外型的分子或粘附原材料外型的分子做掉，由于正离子在工作压力较低时的均值氧自由基比较轻长，有得动能的积累，因此在物理学碰撞时，正离子的动能越高，越发有的作碰撞，因此若想以物理反应为主导时，就务必操纵较的工作压力出来开展反映，如许清理結果不错，为了更好地进一步表明各种各样设备清洗的結果。

等离子清洗设备的原理，关键是寄予等离子中活力颗粒的“活性功效”做到除去物件外型污垢的目地。就反映原理看来，等离子清理通常包含下列全过程：有机物汽体被激起为等离子态；气相色谱成分被粘附在固态外型；被吸咐官能团与固态外型分子结构反映转化成物质分子结构；物质分子结构分析产生气相色谱；反映残余物离去外型。

等离子清洁技术性的最大的特征不是分解决目标的板材种类，均可开展解决，对金属材料、半导体材料、金属氧化物和绝大多数纤维材料，如聚丙稀、聚酯、聚丙烯腈、聚氯乙烷、环氧树脂、乃至聚四氟乙烯等都能有效地解决，并可完成团队和部分及其繁杂构造的清理。

等离子清理还具备下列一些特性：非常容易选用数控加工技术，积极化水平高；具备高精密的操纵安装，時间操纵的精密度很高；精准的等离子清理不容易在表面造成损害层，外型品质获得确保；由于是在真空泵中开展，不环境污染，确保清理外型不被二次污染。

l  等离子清洗机的清理归类：

1 反应类型归类

等离子与固态外型产生反映可以分成物理反应（离子轰击）和化学变化。物理反应体制是活力颗粒负电子待清理外型，使污染物质离去外型最后被机械泵抽走；化学变化体制是各种各样生物的颗粒和污染物质反映转化成易挥发物的成分，再由机械泵抽走挥发物的成分。

以物理反应为主导的等离子清理，也称为磁控溅射浸蚀（SPE）或离子铣（IM），其益处取决于自身不产生化学变化，清理外型会留有一切的金属氧化物，可以维持被清理物的有机化学纯粹性，浸蚀功效各种各样；瑕玷便是对外表造成了非常大的危害，会造成较大的热电效应，对被清理外型的多种不一样成分可选择性差，浸蚀速率较低。以化学变化为主导的等离子清理的益处是清理速率较高、可选择性好、对解决有机化学污染物质较为有效，瑕玷是会在表面造成金属氧化物。和物理反应相较为，化学变化的瑕玷不容易击败。而且二种反映体制对外型外部经济外貌导致的不良影响有显著不一样，物理反应可以使外型在分子结构级范畴内显得更为“不光滑”，进而更改外型的粘合特点。也有一种等离子清理是外型反映体制中物理反应和反应都起焦虑不安功效，即反映正离子浸蚀或反映电子束浸蚀，二种清理可以相互促进，离子轰击使被清理外型造成损害变弱其离子键或是产生分子态，非常容易汲取反映剂，正离子撞击使被清理物加温，使之更易于造成反映；其結果是不仅有不错的可选择性、清理率、匀称性，又有不错的专一性。

典型性的等离子体物理清理加工工艺是氩气瓶等离子清理。氩气瓶自身是稀有气体，等离子的氩气瓶不和外型产生反映，反而是根据离子轰击使外型清理。典型性的等离子化学水处理加工工艺是o2等离子清理。根据等离子造成的自由基尤其很是开朗，非常容易与氮氧化合物产生反映，造成二氧化碳、一氧化碳和水等易挥发性有机物，进而除去外型的污染物质。

2 激起工作频率归类

等离子态的硬度和激起次数有如下所示关联：

nc=1.2425×10⁸v²

在其中nc为等离子态相对密度（cm-3），v为激起工作频率（Hz）。

常见的等离子激起次数有三种：激起工作频率为40kHz的等离子为超声波等离子，13.56MHz的等离子为微波射频等离子，2.45GHz的等离子为微波加热等离子。

不划一正离子体造成的自偏压不一样。超声波等离子的自偏压为1000V上下，微波射频等离子的自偏压为250V上下，微波加热等离子的自偏压很低，仅有几十伏，并且三种等离子的体制不一样。超声波等离子产生的反映为物理反应，微波射频等离子产生的反映不仅有物理反应又有化学变化，微波加热等离子产生的反映为化学变化。超声波等离子清理对被清理外型造成的危害较大，因此实际半导体材料生产制造运用中大部分选用微波射频等离子清理和微波加热等离子清理。

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