微波等离子体的优势及特点

　一、简述

　　现阶段低温等离子体（溫度为2000～50000K）已获得广泛运用，工业生产上已变成一种主要的加工工艺方式，比如用低温等离子弧开展激光切割、电焊焊接、喷漆；生产制造各种各样新奇的灯源和显示屏；热电厂立即变换的磁流体发电机等。在化工厂单位，等离子有机化学已变成一个十分活跃性的新的领域。在电子光学工业生产，等离子离子注入和气相色谱堆积运用得十分普遍。以上状况表明，低温等离子体已慢慢渗入许多行业，展现了广泛的市场前景。

　　二、用微波加热激起等离子有以下优势

　　1.有较高的水解和溶解水平

　　2.电子器件溫度和正离子溫度对中性气体溫度之比十分高，运输汽体维持适宜的溫度。这一特点，在气相色谱堆积的情形下，可使底材的溫度不容易过高。

　　3.能在高气压下保持等离子。

　　4.沒有內部电级，在低温等离子器皿内，没有工作汽体之外的一切成分，是清洁的，无污染物。等离子发生器可以维持寿命长。

　　5.低温等离子可以选用磁管束的方式，管束在承诺的区域内，微波加热结和等效电路可以兼容。

　　6.安全性要素高。髙压源和等离子产生器相互之间防护，这也是直流电等离子不可以做到的。微波加热泄露小，非常容易做到辐射源检测标准。这也是高频率磁感应等离子难以实现的。

　　7.微波发生器是比较稳定的，易控的。

　　8.微波加热等离子，在很多状况下是一种较为平静的等离子，不象直流电充放电那般随着很高的噪音级。

　　三、微波加热激起等离子的形式多样

　　1.微波加热同轴电缆和谐振器。

　　2.慢波构造边沿场。

　　3.线下微波天线。

　　4.同轴线基表面波激起等离子柱和光波导入的基表面波激起等离子柱。

　　5.运用电子器件回转共震激起等离子。

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