Parylene D涂层制备过程简述

Parylene是与众不同的聚对二甲苯(poly-P-xylylene)高聚物系列产品的通用性名字，是一种分子结构级敷型镀层原材料，依据分子式的不一样，可分成Parylene N、C、D、HT、F型等多种不同。Parylene D在较高溫度下仍有优异的介电气性能和化学物理性能，有较高的可靠性。文中将对其单个制取方式 和涂膜方式开展简易汇总。

Parylene D单个的制取

一、对二甲苯环二体的苯环氯代

        1）以对二甲苯环二体为原材料，用N-氯代丁二酰亚胺为氯代剂(NCS)，过氧化苯甲酰(BPO)为引发剂，对它进行钛酸异丙酯，获得物质四氯代对二甲苯环二体；2）以对二甲苯环二体为原材料，将带有氢气的四氯化碳饱和溶液与粉丝、对二甲苯环二体混和拌和，用氢气对它进行钛酸异丙酯，获得物质四氯代对二甲苯环二体；3）以二氯代对二甲苯环二体为原材料，用NCS为氯代剂，BPO为引发剂，对原材料开展钛酸异丙酯，获得物质四氯代对二甲苯环二体。

二、以对羟基三烷基氯铵为原材料

        对羟基三羟基氯苄与三甲胺反映后的有机溶剂，在NCS和BPO的效果下，氯代转化成二氯代季铵盐；第二步，按Hofmann清除法，在偏碱自然环境中，季铵盐老先生成季胺碱，而后两分子结构季胺碱再环合变成四氯代对二甲苯环二体。

三、以2,5-二氯对二甲苯为原材料

        以2,5-二氯对二甲苯为原材料，经NCS、NBS、HBr/H₂O₂管理体系卤代，转化成卤代物，与三甲胺反映转化成季胺盐，最终经Hofmann清除法脱下三甲胺、水成环。

Parylene D塑料薄膜的制取汇聚全过程

        常见制取派瑞林的办法是化学气相沉积法(CVD)，反映成分在汽态标准下产生室内空间气相色谱化学变化，在固体基材表层立即转化成固体成分，从而在板材表层产生镀层的一种生产工艺。派瑞林塑料薄膜制取全过程为环形二聚体在持续高温下2个相接羟基碳碳键破裂，转化成有活力的对二亚甲基苯单个，当其从高溫自然环境进到室内温度自然环境的堆积室时，不稳定的单个便会汇聚涂膜。全部制取加工工艺流程分成三步：单个的气化、裂化、在板材表层开展粘附堆积。

        第一，在真空下，固态四氯代对二甲苯环二体在150℃上下提升为汽态；
第二，在650℃上下四氯代对二甲苯环二体裂化成带氧自由基的活力2,5-二氯对二亚甲基苯；
第三，在室内温度(25℃)标准下，化合态的2,5-二氯对二亚甲基苯在固体板材表层堆积汇聚，产生一层无针眼的保形性塑料薄膜。

       涂敷工艺设计流程图如下所示所显示：

        Parylene塑料薄膜具备高度匀称、高密度无针眼、全透明无内应力、出色的电绝缘性能和防御能力等特性，可运用在光电材料、永磁材料、服饰及文化遗产保护等行业，因其生物体兼容模式和生物体可靠性，还能够运用在医疗行业。殊不知，必须留意的是，Parylene涂敷针对原材料表层的规定非常高，规定粘合力好，没有杂质，因而在开展涂敷前，务必对东西的外表开展一定预备处理，以提升涂敷东西的粘合力。

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