现如今,大量企业逐渐明确提出更多的要求—在没有更改商品本身的根基上引进新特性、新作用,用于提高商品的合格率、使用价值、扩宽商品主要用途。等离子做为成分第四态,其基酶与载能性,在没有更改一切物件本身特点基本上,为物件表层产生大量升值增能的变动性。
此篇,大家就最先详细介绍下稷以高新科技的 “一体式等离子处理系统软件机器设备“—Triton160
Triton-160 主要用途
朝向大半导体材料销售市场工业生产级顾客与科研型顾客应用要求设计方案的范用型等离子处理机器设备,适用等离子清洗、活性包括离子注入等多个运用。机器设备可在苛刻条件下平稳运作,得到相对高度均一化的解决实际效果。
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金属键合前解决:根据等离子处理除去焊层表层的合金空气氧化层,提高后面引线键合加工工艺的合格率与结合性。
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塑封膜前解决:经过低温等离子活性试品表层,提高塑封膜料的结合性,降低分层次、裂缝等不好的造成。
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底端添充前解决:低温等离子活性提高胶体溶液在表层的流通性,清除裂缝与汽泡,提高添充实际效果。
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光刻技术除去:除去表层胶渍,产生清理、活性的表层。
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表层钝化处理与微蚀:清除表层内应力,使产品更易融合。
Triton-160 运行特性
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13.56MHz射频电源与全自动配对系统软件,具备良好的可靠性与精确性。
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灵便的机器构造设定与提升的汽体馈入、遍布计划方案,保证大批工作的匀称性。
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精确安全性的反映源供货系统软件,可达到多种多样技术要求。
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PLC与工控电脑给予平稳的过程控制,机器设备运作的即时主要参数根据显示器形象化展现。
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系统软件稳定性靠谱,便于维护保养与维护保养。
Triton-160 生产能力数据对比(以4寸圆晶为例子)
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已在LED领域,集成电路芯片领域规模性投放量产。
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商品本身的生产能力,匀称性都相对高度提高,做到36片每炉,炉内匀称性可达80%以上。
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机器设备的总体设计方案紧密,占地总面积和往常的传统式机器设备对比,可以降低20%以上。
Triton-160 机器设备规格
Triton-160 协作顾客
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此篇,Triton-160 做为JET PLASMA的主要机器设备详细介绍,而在稍候,大家会详细介绍大家其他技术专业产品线的机器设备,及其其机器设备已在协作顾客行业的的取得成功实际操作实例。
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